【EDX分析是什么】EDX分析，全称Energy Dispersive X-ray Spectroscopy（能量色散X射线谱），是一种用于材料成分分析的常用技术。它通常与扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）联用，通过检测样品在受到电子束激发后发出的X射线来确定其元素组成。EDX分析具有快速、无损、操作简便等优点，广泛应用于材料科学、地质学、环境科学、半导体工业等领域。
以下是对EDX分析的基本介绍和特点的总结：
| 项目 | 内容 |
| 全称 | Energy Dispersive X-ray Spectroscopy |
| 原理 | 利用电子束激发样品，使原子内层电子跃迁并发射特征X射线，通过探测这些X射线的能量进行元素识别 |
| 应用领域 | 材料科学、地质学、环境监测、半导体、考古研究等 |
| 优点 | 快速、无损、可同时分析多种元素、适合微区分析 |
| 缺点 | 灵敏度较低、对轻元素检测能力有限、需配合电子显微镜使用 |
| 分析方式 | 定性分析（识别元素）和定量分析（计算元素含量） |
| 样品要求 | 需要导电性良好，非导电样品需镀膜处理 |
| 检测范围 | 通常为原子序数大于硼（B）的元素 |
EDX分析是现代材料表征中不可或缺的工具之一，尤其在需要快速获取元素信息的情况下，具有很高的实用价值。随着技术的发展，EDX的分辨率和灵敏度也在不断提高，使其在更多领域中得到应用。